上海阿法帕真空设备有限公司

Shanghai AfaPa Vacuum Equipment Co., ltd

FF涡轮分子泵
    发布时间: 2017-11-21 15:31    



FF涡轮分子泵


FF涡轮分子泵

涡轮分子泵Turbo Molecular Pump



涡轮
分子泵是一种高真空获得设备(真空度可高达10-8Pa),具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点。分子泵运行时须有前级泵工作专用电源供电

 

应用领域Applications 

广泛应用于镀膜电子、半导体、太阳能、真空炉、化工、离子刻蚀、光盘制造、制灯航空航天、核能源相关行业和教学、科研单位

 

优势 Advantages  

规格齐全,抽气速度从600L/S到3600L/S

叶片角度、厚度优化设计,抽气速度、真空度和耐冲击可靠性更优



 泵十级动片设计,比普通多一级或二级,压缩比性能更佳


节能,功率消耗低(相比其他高真空泵)

U型整体水冷管设计,充分保障分子泵轴承冷却,泵的可靠性更好


全面质量体系,泵整机出厂前经过二十多项严格检测


泵动平衡精度高,长期运行平稳可靠

主动式服务,让客户买的放心、用的安心、感到暖心

FF油润滑涡轮分子泵   Oil Lubricated Turbo Molecular Pump




经典款,稳定性能好

真空性能好,极限真空度可达10-8 Pa

轴承油润滑,能连续长时运行

可获得清洁真空(相比油扩散泵)

采用高性能陶瓷轴承和高强度材料

有温度过热保护功能

低噪音,运行时声音分贝数较低

冷却方式可选择风冷或水冷

 

技术指标Technical Specifications


 


FFB 脂润滑涡轮分子泵 Grease Lubricated Turbo Molecular Pump 




任意角度安装,使用方便

真空性能好,极限真空度可达10-8 Pa

特种脂润滑,能连续长时期运行

可获得清洁真空(相比油扩散泵)

采用高性能陶瓷轴承和高强度材料

有温度过热保护功能

低噪音,运行时声音分贝数较低

冷却方式可选择风冷或水冷

技术指标Technical Specifications