上海阿法帕真空设备有限公司

Shanghai AfaPa Vacuum Equipment Co., ltd

扩散真空泵
    发布时间: 2018-02-23 17:27    
扩散真空泵


K、KT系列油扩散真空泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵, 获得高真空或超真空的主要设备达到高真空(可达10-2~10-5Pa),对各种气体无选择性,结构简单,没有机械运动部件,操作方便,便于维护。

 

应用领域APPLICATIONS

 

油扩散真空泵广泛应用于电子工业、化学工业、真空冶炼、原子能工业高科技行业真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中

 

 

 

技术指标TECHNICAL SPECIFICATIONS


原理结构图



1 加热器  2 排气口法兰  3排气口密封圈  4 油挡 5 泵芯

6 泵壳  7 冷却水管  8 进气口法兰  9 进气口密封圈

 

 

 

前级泵将扩散泵泵腔内抽到10pa左右后,具有低饱和蒸汽压的工作液,由加热器加热,产生的油蒸汽沿蒸汽导管向上运动;经几级喷嘴定向,高速喷出,将扩散在油蒸汽中的气体带到前级端,油蒸汽喷射在泵壁后,遇到冷却后,又流回到泵底,由此循环重复工作,从而达到高真空目的

 



尺寸与图片